上透射电镜拍照的样品薄片的厚度不能超过200纳米,因而在上透射电镜前要进行前处理,离子减薄仪的效果便是将样品薄片减薄至200纳米以下。
将直径约10mm,厚度约5mm的陶瓷片运用锤子敲碎后,将较薄的碎片用机械冲钻的办法制造而成3mm直径的圆片,过程中尽量安稳防止破碎。之后选用机械研磨抛光法,将样品厚度减薄至20微米,贴上铜环,再转移至离子减薄仪进行离子束减薄。
本文使用鼎竑离子减薄仪GU-AI9000对陶瓷进行了透射电镜调查前的减薄处理。该仪器办法参数杰出,可以高质量完成对陶瓷片的减薄,使其具有适宜的薄区供透射电镜拍照调查。在本试验中,经过TEM调查剖析到了陶瓷的晶相结构及元素组成。因为陶瓷片极易碎,而离子减薄比照机械减薄、超薄切片等办法可以有很大成效防止样品破碎,因而本办法是一个较安全的办法,满意对惯例陶瓷减薄的要求。一起稍改进该办法参数也可对其他不一样的品种陶瓷样品进行减薄。